一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法

摘要

本发明提供了一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法，在调焦调平精测测量装置中增加一组自动可调机构，该可调机构用于对调焦调平测量装置进行零位调整。当该可调机构位于其初始位置时，调焦调平测量处于精测模式，而当该可调机构不位于其初始位置时，调焦调平测量处于粗测模式。

主权项

一种调焦调平测量装置，包括第一反射镜、投影目标、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、光电转换传感器、信号处理控制器，其特征在于，所述调焦调平测量装置还包括用于进行零位调整的自动可调机构；测量光经过所述第一反射镜、所述投影目标、所述第二反射镜经硅片表面反射后，经由所述第三反射镜、所述第四反射镜后入射到所述光电转换传感器上，所述光电转换传感器输出的电信号进入所述信号处理控制，所述自动可调机构位于测量光路上，该自动可调机构内部存在伺服反馈的测量系统，当测量对象位于调焦调平测量装置的精测测量范围之外时，该自动可调机构可接受调焦调平测量装置电信号处理得到的与硅片表面位置线形对应的电压值作为其伺服控制的反馈，以产生粗测测量结果。