用于集成气体系统气体面板的灵活的歧管

摘要

灵活的气体传输设备具有气体面板，该气体面板具有第一扩展体，该第一扩展体具有第一区域和第二区域，该第一区域设在混合阀和该基底之间，该基底具有与出口泵/清除歧管流体连通的出口，以及第二扩展体，该第二扩展体具有第一区域和第二区域，该第一区域设在排除阀和该基底之间，该基底具有与混合歧管流体连通的排出口，其中该第一和第二扩展体的第二部分从该气体面板向外延伸。

主权项

灵活的气体传输设备，包括：气体面板，其具有第一个气体棒和最后一个气体棒，该气体棒的每个上面具有多个气体传输组件；多个互相连接以形成基底的歧管体，该多个歧管体的每个连接到该多个气体传输组件之一；基板，其具有上表面和下表面，该基板的上表面连接到该基底的底部表面；混合歧管，其设在该基板的上表面，以平行连接该基底上的多个混合阀；以及泵/清除歧管，其设在该基板的上表面上，以平行连接该基底上的多个泵/排除阀；其中该第一个气体棒进一步包括：第一扩展体，其具有第一区域和第二区域，该第一区域设在排除阀和该基底之间，具有与该泵/清除歧管流体连通的排出口，第二扩展体，其具有第一区域和第二区域，该第一区域设在混合阀和该基底之间，具有与混合歧管流体连通的出口；以及其中该第一和第二扩展体的第二区域从该气体面板向外延伸。