发明名称 |
CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种CMOS图像传感器及其制造方法,其通过驱动晶体管的栅极中的PN结形成耗尽层,以提高对蓝光的灵敏度。形成在栅极的上部的耗尽层提高了CMOS图像传感器对蓝光的灵敏度。 |
申请公布号 |
CN101136421B |
申请公布日期 |
2010.06.02 |
申请号 |
CN200710146866.3 |
申请日期 |
2007.08.24 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
吕寅根 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L29/808(2006.01)I;H01L29/43(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L21/337(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
夏凯;钟强 |
主权项 |
一种CMOS图像传感器,包括:具有有源区域的导电半导体衬底;形成在所述有源区域上的光电二极管;形成在有源区域上的栅极;以及形成在所述栅极中并与所述光电二极管电连接的耗尽层,所述耗尽层包括:第一导电杂质掺杂层,第二导电杂质掺杂层;以及在第一导电杂质掺杂层和第二导电杂质掺杂层之间的结部分。 |
地址 |
韩国首尔 |