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经营范围
发明名称
Proximity CVD deposition
摘要
申请公布号
EP1491654(B1)
申请公布日期
2010.06.02
申请号
EP20040076811
申请日期
2004.06.21
申请人
FEI COMPANY
发明人
HENRY, CRAIG MATTHEW;HONG, LIANG;ARJAVAC, JASON HARRISON;LEZEC, HENRI;NOTTE, JOHN
分类号
C23C16/04;C23C16/48;H01J37/317;H01L21/302
主分类号
C23C16/04
代理机构
代理人
主权项
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