| 摘要 |
<p>Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein schnell ansprechendes Materialgaskonzentrationssteuersystem (2) zu schaffen, welches an ein Blasen bildendes oder Perlsystem angebracht werden kann und welches die Konzentration eines Materialgases in einem Mischgas auf einen konstanten Wert hin steuern kann, und zwar selbst dann, wenn ein Partialdruck des Materialgases fluktuiert. Das Materialgaskonzentrationssteuersystem (2) wird bei einem Materialgasverdampfungssystem (1) verwendet. Dieses weist einen Behälter (13) auf, um ein Material aufzunehmen. Des Weiteren ist eine einführende oder zuführende Leitung (11) vorgesehen, um ein Trägergas zum Verdunsten oder Verdampfen des im Behälter aufgenommenen Materials zu bewirken. Ferner ist eine Auslassleitung (12) vorgesehen, um ein gemischtes Gas auszulassen, welches aus einem Materialgas besteht, welches das verdampfte Material ist, sowie aus einem Trägergas, und zwar aus dem Tank. Die Anordnung weist ein Gehäuse (B) auf, welches mit der Auslassleitung (12) verbunden ist und welches einen internen Flusskanal (B1) aufweist zum Strömenlassen des Mischgases. Des Weiteren ist ein Konzentrationsmessabschnitt (CS) vorgesehen, welcher die Konzentration des Materialgases und Mischgas, welches durch den internen Flusskanal (B1) strömt, misst. Darüber hinaus ist ein erstes Ventil (23) vorgesehen, welches dem Konzentrationsmessabschnitt (CS) nachgeschaltet ist und welches die der vom Konzentrationsmessabschnitt (CS) ...</p> |
