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发明名称 KONTAKTLOSE LUFTKISSENPLATFORM
摘要
申请公布号 DE60236106(D1) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 DE20026036106 申请日期 2002.12.27
申请人 COREFLOW SCIENTIFIC SOLUTIONS LTD. 发明人 YASSOUR, YUVAL;REICHMAN, HILLEL;LEVIN, DANIEL
分类号 G01N21/84;H01L21/00;B65G49/06;B65G51/03;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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