| 发明名称 |
POLISHING AGENT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, POLISHING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2061070(A4) |
申请公布日期 |
2010.06.02 |
| 申请号 |
EP20070807011 |
申请日期 |
2007.09.10 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO., LTD. |
发明人 |
KON, YOSHINORI;YOSHIDA, IORI;NAKAZAWA, NORIHITO |
| 分类号 |
H01L21/3105;B24B37/04;C09G1/02;C09K3/14 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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