发明名称 Production of semiconductor devices
摘要
申请公布号 GB2446471(B) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 GB20070008281 申请日期 2007.04.30
申请人 UNIVERSITY OF BATH;APEX OPTOELECTRONICS LIMITED;NANOGAN LIMITED 发明人 WANG NANG WANG
分类号 H01L21/20;C30B25/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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