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Eine Bearbeitungsanlage (1), insbesondere für die Bearbeitung flächiger Substrate unter Rein- und/oder Reinstraumbedingungen, ist im Hinblick auf geringen Raumbedarf bei hohem Durchsatz und in den jeweiligen Stationen (4, 5) jeweils etwa gleichen, kurzen Verweilzeiten mit einer Umsetzvorrichtung (8) ausgebildet, die linear zwischen den in Reihen (2, 3) angeordneten Stationen (4, 5) verfahrbar ist und bei kurzen Verfahrwegen getaktet jeweils den Zugriff auf mehrere Stationen (4, 5) zunächst der einen Reihe (9) und danach der anderen Reihe (3) in einer Weise ermöglicht, dass sich bei gleicher Taktfolge unter Umkehr der Durchlaufrichtung beim Übergang von der einen Reihe (2) auf die Reihe (3) ein Durchlauf über alle Stationen (4, 5) ergibt.
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