发明名称 METHOD OF ORGANIC MATERIAL VACUUM DEPOSITION AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP1918413(A4) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 EP20060796543 申请日期 2006.08.18
申请人 TOKKI CORPORATION 发明人 MATSUMOTO, EIICHI;ABE, YOSHIKO;YANAGI, YUJI
分类号 C23C14/24;C23C14/30;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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