| 发明名称 |
Procédé et appareil pour fabriquer des organes semi-conducteurs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1319182(A) |
申请公布日期 |
1963.02.22 |
| 申请号 |
FR19620893507 |
申请日期 |
1962.04.05 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/04;H01L21/00;H01L23/482 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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