液体喷头、其制造方法以及液体喷射设备

摘要

本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外，本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括：形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10)，该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通；和压电元件(300)，其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。

主权项

一种液体喷头，其特征在于包括：通道衬底，所述通道衬底中形成有压力产生腔并具有用于排出液滴的连通喷嘴孔；和压电元件，所述压电元件中的每个由下电极、压电层和上电极构成并经由振动板布置在所述通道衬底的一个表面上，其中，至少构成所述压电元件的各层的图案区域用无机绝缘材料制成的绝缘膜覆盖，所述绝缘膜的应力与所述上电极的应力之和是压应力。