废气的处理方法和装置

摘要

本发明公开了一种对半导体生产线，集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇16吸排的废气首先通过进行预过滤的层状活性炭除味过滤器20，将废气中的气相和/或汽相带有异味的物质除去。接着废气通过袋式除尘器14将粉尘等除去。进入袋式除尘器14内的废气已经通过预过滤器12将附着性较强的气相和/或汽相的带有异味的物质除去，因而不会很快造成对袋式除尘器14的堵塞。

主权项

一种对废气产生源产生的废气进行处理的废气处理装置，所述废气产生源为激光加工机，上述废气为使用上述激光加工机加工树脂、橡胶、集成电路基板的过程中产生的物质，上述废气中的带有异味的物质的基质为气相或汽相或两者均有；该废气处理装置包括：一种对上述废气产生源产生的上述废气进行引导的引导装置；上述废气被引导通过其中，而使得废气中的带有气味的物质被吸附的由粒状活性炭组成的多层状活性炭吸附装置，上述粒状活性炭的平均粒径范围为1.0～10.0mm，上述层状活性炭吸附装置为由外壁限定的筒状体；对通过上述活性炭吸附装置的上述废气中的特定物质进行去除的袋式除尘器装置，上述袋式除尘器中去除的特定物质为粉尘；其中，上述引导装置使上述废气从上述活性炭吸附装置外壁的外侧至内侧，以3～12m/min的流速，与上述粒状活性炭的接触时间为0.3～1.0秒的状态通过上述外壁。