一种空间三平移微动超精密定位平台

摘要

本实用新型涉及超精密定位技术，特别是一种空间三平移微动超精密定位平台。常规的三自由度并联机构一般都是运用刚性元件来实现，为了实现精密定位，通常采用伺服电机和精密丝杠传动方案，然而这种定位方式由于螺纹间隙和传动摩擦的存在，其定位精度一般只能达到微米级。本实用新型三个结构相同的柔顺支链通过螺钉分别固定在固定基座上，同时末端执行器被镶嵌在三个柔顺支链的动平台之间。安装在柔顺支链上的压电陶瓷驱动驱动后，柔性连杆8和柔性连杆13发生变形，传到支架6，支架6再通过柔性连杆12和柔性连杆15将运动传到动平台，根据三个柔顺支链的运动来确定超精密定位平台的空间三平移运动，最终实现超精密定位。

主权项

一种空间三平移微动超精密定位平台，其特征在于：将三个相同柔顺支链(1)分别紧固在固定基座(3)的三个面上，超精密定位平台(2)固定于末端执行器(4)上，末端执行器(4)镶在三个柔顺支链的动平台(14)中间。