一种负压短接旋流装置

摘要

一种负压短接旋流装置，包括内体6，内体6装在外壳7的内部，内体6的外壁中部配置有倒流槽1，外壳7和扩散泵连接的一端的边缘部分均匀分布有连接孔2，外壳7和泵头连接的一端配置有卡环3，当彩管管腔内气流在机械泵、扩散泵做功下，流经本装置时，气体分子螺旋、加速、连续运动，在有限的空间对气体分子形成二次做功，使气体分子进一步加速运动，腔体内气压进一步降低，从而使管腔内高于6.5×10-1Pa气体被加速吸附，使系统极限负压达到6.5×10-1Pa；本实用新型具有能缩短系统排气时间、提高工作效率的特点。

主权项

一种负压短接旋流装置，包括内体(6)，其特征在于，内体(6)装在外壳(7)的内部，内体(6)的外壁中部配置有倒流槽(1)，外壳(7)和扩散泵连接的一端的边缘部分均匀分布有连接孔(2)，外壳(7)和泵头连接的一端配置有卡环(3)。