| 发明名称 | 对光学光刻系统中的扇区极化照明源进行建模 | ||
| 摘要 | 本发明的一个实施例提供了一种构造源极化模型，以仿真光学光刻系统中的照明源的分段恒定线性极化配置的系统。在操作中，系统开始于将照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配照明源的物理实现。接下来，通过分别指定每个扇区中的恒定线性极化状态以匹配照明源的极化配置，系统为照明源构造源极化模型。 | ||
| 申请公布号 | CN101720450A | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
| 申请号 | CN200980000254.0 | 申请日期 | 2009.03.12 |
| 申请人 | 新思科技有限公司 | 发明人 | 张乔林;H·宋 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华;黄耀钧 |
| 主权项 | 一种用于构造源极化模型以仿真光学光刻系统中的横向电(TE)极化照明源的物理实现的方法，所述方法包括：将所述照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配所述照明源的物理实现；以及，对于每个扇区，限定基本垂直于平分所述扇区的半径的恒定线性极化角；以及基于所述相应的线性极化角为所述扇区中的线性极化状态提供数学表示。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||