具硅液溢出安全保护装置的多晶硅炉

摘要

一种具硅液溢出安全保护装置的多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，在冷却板的下面炉体的底部设有铜质硅液溢流承接器。在坩埚硅液溢出的情况下，硅液沿保温笼的笼体与底板的接缝处、以及从热门缝隙处流到硅液溢流承接器上，承接器使硅液很快结晶，将损失降低到最低点。另外再通过测控装置起到两级安全保护，本实用新型设计合理，结构简单，能有效避免硅液对炉体的损伤和人身伤害。

主权项

一种具硅液溢出安全保护装置的多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，其特征在于：在冷却板的下面炉体的底部设有硅液溢流承接器。