| 发明名称 | 静电卡盘及等离子体装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电卡盘及等离子体装置，静电卡盘设有多路背吹气体通路，其中一路与升针孔贯穿或连接。多路背吹气体通路可以由一路供气管路供气，也可以由多路供气管路供气。背吹气体通路相对于基片和静电卡盘之间的间隙是很大的，在基片加工工艺结束后，通过背吹气体通路进行抽气时，可以很快的将升针孔中的气体抽净，缩短了基片加工工艺的时间，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101719480A | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
| 申请号 | CN200810223918.7 | 申请日期 | 2008.10.09 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张宝辉 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C30B25/12(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 赵镇勇 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，包括背吹气体通路、升针孔，其特征在于，所述背吹气体通路与所述升针孔贯穿或连接。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||