发明名称 | 冷阴极压力传感器 | ||
摘要 | 本发明涉及一种冷阴极压力传感器(10),其包括:气密壳体(12);测试气体入口(18);设置在所述壳体(12)中的阳极(14)和阴极(16、17);以及朝向所述阴极(16、17)以触发冷阴极放电的辐射源(20)。所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成。所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过制成所述壳体的玻璃照射所述阴极(16、17)。来自所述辐射源(20)的射线的波长大体上处于从大于350nm到小于1400nm的范围内。 | ||
申请公布号 | CN101138066B | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
申请号 | CN200680007372.0 | 申请日期 | 2006.03.02 |
申请人 | 因菲康有限公司 | 发明人 | 丹尼尔·韦齐希;卢多尔夫·格道 |
分类号 | H01J41/06(2006.01)I | 主分类号 | H01J41/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 张文;王艳江 |
主权项 | 一种冷阴极压力传感器(10),包括:气密壳体(12),其具有测试气体入口(18);阳极(14)和阴极(16、17),其设置在所述壳体(12)中,以及辐射源(20),其朝向所述阴极,用于触发冷阴极放电,其特征在于:所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成,所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过所述壳体玻璃照射所述阴极(16、17),并且所述辐射源(20)放射波长λ大于350nm且小于1400nm的射线。 | ||
地址 | 德国科隆 |