发明名称 冷阴极压力传感器
摘要 本发明涉及一种冷阴极压力传感器(10),其包括:气密壳体(12);测试气体入口(18);设置在所述壳体(12)中的阳极(14)和阴极(16、17);以及朝向所述阴极(16、17)以触发冷阴极放电的辐射源(20)。所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成。所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过制成所述壳体的玻璃照射所述阴极(16、17)。来自所述辐射源(20)的射线的波长大体上处于从大于350nm到小于1400nm的范围内。
申请公布号 CN101138066B 申请公布日期 2010.06.02
申请号 CN200680007372.0 申请日期 2006.03.02
申请人 因菲康有限公司 发明人 丹尼尔·韦齐希;卢多尔夫·格道
分类号 H01J41/06(2006.01)I 主分类号 H01J41/06(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 张文;王艳江
主权项 一种冷阴极压力传感器(10),包括:气密壳体(12),其具有测试气体入口(18);阳极(14)和阴极(16、17),其设置在所述壳体(12)中,以及辐射源(20),其朝向所述阴极,用于触发冷阴极放电,其特征在于:所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成,所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过所述壳体玻璃照射所述阴极(16、17),并且所述辐射源(20)放射波长λ大于350nm且小于1400nm的射线。
地址 德国科隆