发明名称 High sensitivity acoustic wave microsensors based on stress effects
摘要
申请公布号 GB2465728(A) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 GB20100004973 申请日期 2008.10.17
申请人 DELAWARE CAPITAL FORMATION, INC. 发明人 REICHL B HASKELL;DANIEL STEVENS;JEFFREY C ANDLE
分类号 G01N29/02;G01N29/036;G01N29/24 主分类号 G01N29/02
代理机构 代理人
主权项
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