制造极尖及控制其道宽和倾斜角的方法、磁头、盘驱动器

摘要

本发明公开一种独立地控制用于垂直记录的具有P3极尖的写入极尖的道宽和倾斜角的方法。该方法包括在P3层材料的一部分中确定道宽。具有确定的道宽的该部分的一部分通过提供临时掩模材料而被保护从而制成被保护部分。至少留下一个未被保护部分被暴露从而被加工成形。然后使该未被保护部分具有斜面从而产生至少一个具有倾斜角的有斜面部分。该被保护部分产生矩形部分，其与有斜面部分一起产生六边形极尖。本发明还公开一种具有六边形极尖的磁头，以及包括具有六边形极尖的磁头的盘驱动器。

主权项

一种制造用于垂直记录头的六边形写入极尖的方法，包括：A)沉积绝缘层；B)在所述绝缘层上沉积P3层；C)在所述P3层上沉积盖帽层；D)在所述盖帽层上制造掩模层；E)使所述P3层以及所述盖帽层成形从而由所述P3层形成具有突出体壁部分的突出体；F)在包括所述突出体壁部分的所述P3层上沉积氧化铝层；G)使所述氧化铝层成形，从而在所述突出体壁部分上产生氧化铝壁部分，从而产生所述P3层的被所述氧化铝壁部分保护的被保护部分和所述P3层的未被保护部分，所述被保护部分包括所述P3层的所述突出体，所述未被保护部分包括所述P3层的在所述突出体之下的部分；以及H)在通过所述氧化铝壁部分保护所述P3层的所述被保护部分以形成所述六边形写入极尖的矩形部分的同时，使所述P3层材料的所述未被保护部分成形以形成所述六边形写入极尖的具有倾斜壁部分的有斜面部分。