电感耦合等离子体电源输出匹配电路

摘要

本发明公开了一种电感耦合等离子体电源输出匹配电路，其包括一变压器，所述变压器的初级线圈与输入信号连接，所述变压器的次级线圈与第一可调节电容、第二可调节电容连接，第一可调节电容的另一端与工作线圈连接，第二可调节电容的另一端接地，所述第一可调节电容由第一电机调节，第二可调节电容由第二电机调节，所述第一电机、第二电机与一可检测工作线圈传输效率的信号反馈单元连接。该电路可根据工作线圈的工作情况自动调节输出匹配，使输出功率能以最大的效率传输至输出负载工作线圈上。

主权项

一种电感耦合等离子体电源输出匹配电路，其包括一变压器(T10)，所述变压器(T10)的初级线圈与输入信号连接，其特征在于：所述变压器的次级线圈与第一可调节电容(C28)、第二可调节电容(C29)连接，第一可调节电容(C28)的另一端与工作线圈(T11)连接，第二可调节电容(C29)的另一端接地，所述第一可调节电容(C28)由第一电机(M2)调节，第二可调节电容(C29)由第二电机(M1)调节，所述第一电机(M2)、第二电机(M1)与一可检测工作线圈(T11)传输效率的信号反馈单元连接。