微蚀液循环再生系统

摘要

本实用新型公开了微蚀液循环再生系统。本实用新型包括调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、铜回收系统和自动添加系统，调整系统设有与微蚀槽相连的管路，调整系统通过管路与铜回收系统相连接，铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接，自动添加系统设有与微蚀槽相连的管路。整个系统是封闭循环运行，无需外排废液，不会对环境造成危害；只需要添加消耗的添加剂就能不断的再生合格的微蚀液，保证了微蚀刻的稳定性和一致性，有效地降低了微蚀刻的成本，保证了微蚀刻的质量。与此同时，通过铜回收系统还能获得高价值的副产品金属铜，进一步降低了处理成本。

主权项

微蚀液循环再生系统，其特征在于：所述微蚀液循环再生系统包括有调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、铜回收系统和自动添加系统，调整系统设有与微蚀槽相连的管路，调整系统通过管路与铜回收系统相连接，铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接，自动添加系统设有与微蚀槽相连的管路。