发明名称 Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Bauelementen
摘要
申请公布号 DE19817310(B4) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 DE19981017310 申请日期 1998.04.18
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SCHOEFTHALER, MARTIN;HEIN, PETER;SKAPA, HELMUT;MUENZEL, HORST
分类号 G01P15/125;H01L21/306;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;G01P1/02;G01P15/08;H01L49/00 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
主权项
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