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经营范围
发明名称
Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Bauelementen
摘要
申请公布号
DE19817310(B4)
申请公布日期
2010.06.02
申请号
DE19981017310
申请日期
1998.04.18
申请人
ROBERT BOSCH GMBH
发明人
SCHOEFTHALER, MARTIN;HEIN, PETER;SKAPA, HELMUT;MUENZEL, HORST
分类号
G01P15/125;H01L21/306;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;G01P1/02;G01P15/08;H01L49/00
主分类号
G01P15/125
代理机构
代理人
主权项
地址
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