热风加热装置

摘要

本发明涉及将气体加热供应的装置，具体为一种热风加热装置，解决现有技术中存在的加热气体温度忽高忽低，不能保持恒定等问题。采用该装置受热气体可长时间稳定供应，而且温度保持在指定的温度范围内，供应的气体的温度、流量、压力均可调整。该装置设有密闭腔体、导气管线、加热器、排出管路，加热器设置于密闭腔体内，导气管线缠绕于加热器上，导气管线的气体进口伸至密闭腔体外，导气管线的出口设在密闭腔体内，排出管路的气体入口伸至密闭腔体内。本发明适用于半导体设备上的单元，可以在多种不同工艺上使用，如热板单元上、清洗工艺的吹干。

主权项

一种热风加热装置，其特征在于：该装置设有密闭腔体(2)、导气管线(5)、加热器(6)、排出管路(9)，加热器(6)设置于密闭腔体(2)内，导气管线(5)缠绕于加热器(6)上，导气管线(5)的气体进口(7)伸至密闭腔体(2)外，导气管线(5)的出口设在密闭腔体(2)内，排出管路(9)的气体入口(4)伸至密闭腔体(2)内。