发明名称 Procédé pour traiter des corps en matière semi-conductrice par attaque chimique par un liquide acide de décapage
摘要
申请公布号 FR1327695(A) 申请公布日期 1963.05.17
申请号 FR19620903077 申请日期 1962.07.05
申请人 N. V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/24;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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