一种多晶硅定向凝固设备

摘要

本发明一种多晶硅定向凝固设备属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域，特别涉及一种用定向凝固方法熔炼多晶硅的设备。该设备外壳的内腔为真空室，真空室内由上耐热纤维保温套、方形侧耐热纤维保温套、下耐热纤维保温套构成封闭的保温区间；在下耐热纤维保温套中部开有一个锥形孔，与拉杆固定相连的耐热纤维散热屏插入其中；多晶硅定向凝固设备有一个支撑台，它由框架形支架和安装在框架形支架上的左、右滑动拉杆构成；设备外壳固定在框架形支架上。该设备有效控制液态多晶硅的散热方式，保证温度梯度始终保持一个方向，使液态多晶硅沿底部单一方向散热，完成多晶硅的定向凝固。具有能耗低、侧境污染小的特点。

主权项

一种多晶硅定向凝固设备，其特征是，设备外壳(1)的内腔为真空室(4)，真空室(4)内由上耐热纤维保温套(3)、方形侧耐热纤维保温套(7)、下耐热纤维保温套(12)构成封闭的保温区间；在下耐热纤维保温套(12)中部开有一个锥形孔a，与拉杆(15)固定相连的耐热纤维散热屏(13)插入其中；还具有三个被分别加热控温的石墨发热体，即上石墨发热体(25)、侧石墨发热体(9)和下石墨发热体(20)，它们位于保温区间内，上石墨发热体(25)通过上左支撑架(27)和上右支撑架(28)先安装在上耐热纤维保温套(3)的下侧位置，再一起固定在设备外壳(1)上；方形侧耐热纤维保温套(7)的内侧位置安装有侧石墨发热体(9)，侧石墨发热体(9)由左支撑架(26)和右支撑架(29)固定在设备外壳(1)上；下耐热纤维保温套(12)的内侧位置安装有下石墨发热体(20)，下石墨发热体(20)由下左支撑架(18)和下右支撑架(14)固定在设备外壳(1)上；石墨支撑台(21)安装在下石墨发热体(20)上方，石墨支撑台(21)上放置石墨坩埚(23)；装多晶硅料(10)的石英坩埚(24)安装在石墨坩埚(23)中，石墨坩埚(23)上盖有石墨盖(11)；多晶硅定向凝固设备有一个支撑台，它由框架形支架(17)和安装在框架形支架(17)上的左滑动拉杆(22)、右滑动拉杆(16)构成；设备外壳(1)固定在框架形支架(17)上，设备外壳(1)下部安装有设备盖(8)，设备盖(8)两端分别与左滑动拉杆(22)、右滑动拉杆(16)相连接；冷却气阀(19)安装在设备盖(8)的左侧；放气阀(2)安装在设备外壳(1)上部，机械泵(5)、罗兹泵(6)安装在设备外壳(1)的外侧面。