基板搬送系统

摘要

本发明为一种基板分类系统1，系用以将收纳于分类来源卡匣3之多数片基板W分类至分类目的卡匣5，其特征为系具有，可将基板W收纳于任意位置之暂存站7；及于各个卡匣3、5及暂存站7各自之间，可藉由单片方式而搬送基板W之载入装置11。

主权项

一种基板分类系统，系用以将收纳于分类来源卡匣的复数片基板分类至分类目的卡匣，其特征为具有：具备可分别收纳复数的上述基板的一个以上的卡匣之暂存站；及可以单片方式从上述分类来源卡匣往上述暂存站搬送上述基板，且可从被收纳于上述暂存站的上述基板来选择同种类的基板而移往上述分类目的卡匣之载入装置。