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发明名称 Method for manufacturing gray tone mask
摘要
申请公布号 KR100960746(B1) 申请公布日期 2010.06.01
申请号 KR20060126296 申请日期 2006.12.12
申请人 发明人
分类号 G03F1/68;G03F1/80;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027 主分类号 G03F1/68
代理机构 代理人
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