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发明名称 REDUCING PLASMA IGNITION PRESSURE
摘要
申请公布号 IL180388(A) 申请公布日期 2010.05.31
申请号 IL20060180388 申请日期 2006.12.27
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION;MARK WIEPKING;BRADFORD J. LYNDAKER;ANDRAS KUTHI;ANDREAS FISCHER 发明人 MARK WIEPKING;BRADFORD J. LYNDAKER;ANDRAS KUTHI;ANDREAS FISCHER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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