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发明名称 SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVED LOCAL DUAL-DAMASCENE PLANARIZATION
摘要
申请公布号 IL170851(A) 申请公布日期 2010.05.31
申请号 IL20050170851 申请日期 2005.09.13
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION;ANDREW D. BAILEY, III;SHRIKANT P. LOHOKARE;DAVID HEMKER;JOEL M. COOK 发明人 ANDREW D. BAILEY, III;SHRIKANT P. LOHOKARE;DAVID HEMKER;JOEL M. COOK
分类号 H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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