Elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen, Spektrometer und Monochromator mit einem solchen Analysator

摘要

Die Erfindung betrifft einen elektrostatischen Analysator für geladene Teilchen, mit mindestens einer Haupt- und einer Rückelektrode zur Erzeugung eines elektrostatischen Feldes während des Durchgangs der geladenen Teilchen durch den Analysator und Mitteln zur Korrektur des elektrostatischen Feldes. Ein derartiger Analysator soll einfach aufgebaut sein und eine verbesserte Zählrate (Empfindlichkeit) und Energieauflösung bei gegebener Größe eines winkelselektiven Spektrometers/Monochromators für geladene Teilchen gewährleisten. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Mittel zur Korrektur des elektrostatischen Feldes langreichweitige Randfelder in Polar- und/oder Azimutrichtung bezüglich der energiedispersiven Richtung der geladenen Teilchen ausbilden, wobei die Äquipotentialflächen der langreichweitigen Randfelder die Form ähnlich einer Badewanne bilden.