发明名称 TURBOMOLECULAR PUMP
摘要 <p>Eine Turbomolekularpumpe weist ein in einem Pumpengehäuse (18) angeordnetes Rotorelement (12) auf. Das Rotorelement (12) ist von einem Statorelement (24) umgeben. Zwischen dem Statorelement (24) und dem Pumpengehäuse (18) ist ein Zwischenraum (36) vorgesehen. Zur Absorption von Energie im Fall eines Bursts des Rotorelements (12) ist in dem Zwischenraum (36) ein Energie-Absorptionselement (44) angeordnet.</p>
申请公布号 WO2010057834(A1) 申请公布日期 2010.05.27
申请号 WO2009EP65141 申请日期 2009.11.13
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;ENGLAENDER, HEINRICH;HAS, STEFAN;RICHTER, MICHAEL;ROTH, ISHAN 发明人 ENGLAENDER, HEINRICH;HAS, STEFAN;RICHTER, MICHAEL;ROTH, ISHAN
分类号 F04D19/04;F01D21/04;F04D29/52 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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