| 发明名称 |
Siliziumsubstrat mit einer Isolierschicht und Anordnung mit einem Siliziumsubstrat mit einer Isolierschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10163460(B4) |
申请公布日期 |
2010.05.27 |
| 申请号 |
DE20011063460 |
申请日期 |
2001.12.21 |
| 申请人 |
AUSTRIAMICROSYSTEMS AG |
发明人 |
STUECKLER, EWALD;KOPPITSCH, GUENTHER |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/31;H01L21/762;H01L23/544;H01L27/08 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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