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发明名称 Transporteinrichtung für horizontale Vakuumbeschichtungsanlagen
摘要
申请公布号 DE102008008320(B4) 申请公布日期 2010.05.27
申请号 DE200810008320 申请日期 2008.02.07
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 KRAUSE, JOCHEN;MUELLER, UWE
分类号 C23C14/56;C23C16/54 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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