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发明名称 HERSTELLUNG EINER DÜNNEN MEMBRAN
摘要
申请公布号 DE60044178(D1) 申请公布日期 2010.05.27
申请号 DE20006044178 申请日期 2000.06.29
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A. 发明人 ASPAR, BERNARD;BRUEL, MICHEL;JAUSSAUD, CLAUDE;LAGAHE, CHRYSTELLE
分类号 H01L21/20;H01L27/12;H01L21/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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