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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER SCHICHT AUS RELAXIERTEM SIGE-AUF-ISOLATOR
摘要
申请公布号 DE60141843(D1) 申请公布日期 2010.05.27
申请号 DE20016041843 申请日期 2001.09.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CANAPERI, DONALD;CHU, JACK OON;D'EMIC, CHRISTOPHER;HUANG, LIJUAN;OTT, JOHN ALBERT;WONG, HON-SUM PHILIP
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/338;H01L21/76;H01L27/12;H01L29/778;H01L29/786;H01L29/812 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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