| 发明名称 |
REPLACEABLE COUPON FOR A PROBING APPARATUS |
| 摘要 |
The contacts of a probing apparatus are elastically supported on a replaceable coupon and electrically interconnected with conductors on a membrane or a space transformer. |
| 申请公布号 |
WO2010059247(A2) |
申请公布日期 |
2010.05.27 |
| 申请号 |
WO2009US06250 |
申请日期 |
2009.11.20 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC.;SMITH, KENNETH, R. |
发明人 |
SMITH, KENNETH, R. |
| 分类号 |
G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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