多晶硅生产过程中余热利用的装置

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅生产过程中余热利用的装置，包括：第一热交换器，第二热交换器；第一热交换器包括高温热水入口与精馏热水入口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统出流口和精馏热水系统出流口相连接，还包括高温热水出口与精馏热水出口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统入流口和精馏热水系统入流口相连接；第二热交换器包括高温热水入口与冷冻站热水入口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统出流口和冷冻站热水系统出流口相连接，还包括高温热水出口与冷冻站热水出口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统入流口和冷冻站热水系统入流口相连接。通过该装置，多晶硅生产过程中的余热得到充分利用，节约了能源，降低了生产成本。

主权项

一种多晶硅生产过程中余热利用的装置，其特征在于，包括：第一热交换器，第二热交换器；所述第一热交换器包括高温热水入口与精馏热水入口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统出流口和精馏热水系统出流口相连接，第一热交换器还包括高温热水出口与精馏热水出口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统入流口和精馏热水系统入流口相连接；所述第二热交换器包括高温热水入口与冷冻站热水入口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统出流口和冷冻站热水系统出流口相连接，第二热交换器还包括高温热水出口与冷冻站热水出口，分别与还原炉、氢化炉高温冷却水系统入流口和冷冻站热水系统入流口相连接。