条型阴极侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种条型阴极侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及条型阴极侧栅控结构；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步降低栅极结构的工作电压，提高栅极结构的控制性能，提高碳纳米管的电子发射效率，有利于增强整体器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

一种条型阴极侧栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[11]和四周玻璃围框[15]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[12]、制备在阳极导电层上面的荧光粉层[14]以及在阳极导电层的非显示区域印刷的绝缘浆料层[13]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[16]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有阴极导电层[5]、碳纳米管[10]以及条型阴极侧栅控结构；所述的条型阴极侧栅控结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的掺杂多晶硅层形成阴极基底层；阴极基底层为圆柱体型形状，上下表面均为平面，下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层侧面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层位于阴极基底层的侧壁表面上，呈现条形相间排列分布，即从阴极基底层的侧面上边缘到下边缘形成一个条形阴极导电层，依附于阴极基底层的侧壁表面上，相邻条形阴极导电层横向之间要相互间隔开，不能直接连接，条形阴极导电层之间是通过内部的阴极基底层导电进行相互连接的；阴极基底层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极基底层的上顶面全部以及阴极基底层侧壁上空余部分，也就是相邻阴极导电条之间的部分；绝缘层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成隔离层；隔离层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；隔离层中存在圆型孔，暴露出阴极基底层和阴极导电层、阴极覆盖层；隔离层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆柱面；隔离层的高度不能超过阴极基底层的高度；隔离层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层大部分都位于隔离层的上面，但是其前端部分要向圆型孔内部延伸，呈现悬空状态；栅极引线层的前端悬空部分略向上弯曲，但其弯曲部分的最高点不能超过阴极基底层的高度；栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住栅极引线层的上表面，包括前端悬空部分的栅极引线层在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。