质量流量控制器

摘要

本发明涉及一种用于气体的质量流量控制器，包括壳体和与壳体紧密螺接的本体，壳体内部设置有支架，一流量传感器和电路板分别与支架螺纹连接，本体内设有气体通道，一电磁阀固定在本体上部，所述流量传感器和电磁阀分别与气体通道相通，所述本体内有一压力传感器，压力传感器位于本体内的气体通道上，气体的流通量根据流量传感器和压力传感器的数值进行调整。本质量流量控制器属于压力不敏感型，全金属密封结构，耐腐蚀，应用范围广。

主权项

一种质量流量控制器，包括壳体和与壳体紧密螺接的本体，壳体内部设置有支架，一流量传感器和电路板分别与支架螺纹连接，本体内设有气体通道，一电磁阀固定在本体上部，其特征在于，所述流量传感器和电磁阀分别与气体通道相通，所述本体内有一压力传感器，压力传感器位于本体内的气体通道上，气体的流通量根据流量传感器和压力传感器的数值进行调整。