| 发明名称 | 具有基板加热功能的基板载放机构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种设置在基板处理装置的处理容器内的基板载放机构，其特征在于包括：载放台，具有将基板载放在其上面的基体、用于对载放在该基体上的基板进行加热的发热体、和给该发热体供电用的供电端子部；固定在所述处理容器的底座上且支承所述载放台的中空支承部件；固定在所述支承部件下方的所述处理容器底座上，并且与设置在所述处理容器外部的电源连接的连接端子部；与所述供电端子部连接并且在所述支承部件内部延伸的供电部件；和连接所述供电部件与所述连接端子部的弹簧部件。 | ||
| 申请公布号 | CN1835649B | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200610065006.2 | 申请日期 | 2006.03.15 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 小松智仁 |
| 分类号 | H05B3/20(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I;H05K13/00(2006.01)I | 主分类号 | H05B3/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板载放机构，其特征在于：被设置在基板处理装置的处理容器内，包括：载放台，具有将基板载放在其上面的基体、用于对载放在该基体上的基板进行加热的发热体、和给该发热体供电用的供电端子部；固定在所述处理容器的底座上，并且支承所述载放台的中空支承部件；固定在所述支承部件下方的所述处理容器底座上，并且与设置在所述处理容器外部的电源连接的连接端子部；与所述供电端子部连接，并且在所述支承部件内部延伸的供电部件；和连接离开所述载置台并位于所述载置台下方的所述供电部件的下端部与所述连接端子部的弹簧部件。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||