带隔离处理装置的扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种带隔离处理装置的扩散炉，这种技术和装置主要应用于扩散炉中；它包括有加热炉和操作室，加热炉带有炉腔，其炉口朝向操作室方向，在加热炉内还设有可沿炉腔方向内外滑动的石英舟；所述操作室内靠近炉口处设有一中部带圆形开口的隔板，开口内侧嵌有一环形风刀。本实用新型通过环形风刀形成的风帘有效将加热炉与操作室间隔离开，这样就可以避免或减少一些尘粒和杂质在高温时扩散到硅片中，造成对PN结质量的影响；并且卸载时能会吹扫掉硅片上的残留气体，隔离了炉内和操作间，可以避免残留气体进入到密封的操作间，产生腐蚀、污染和对人员的污染。

主权项

一种带隔离处理装置的扩散炉，包括有加热炉(1)和操作室(8)，加热炉(1)带有炉腔，其炉口(2)朝向操作室(8)方向，在加热炉(1)内还设有石英舟(3)，其特征在于：所述操作室(8)内靠近炉口(2)处设有一中部带圆形开口的隔板(9)，开口内侧嵌有一环形风刀(11)。