| 发明名称 |
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| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP4468696(B2) |
申请公布日期 |
2010.05.26 |
| 申请号 |
JP20030531516 |
申请日期 |
2002.09.19 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/95 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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