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发明名称
Anordnung zum Hochreinigen und/oder Dopen eines Halbleiterkoerpers
摘要
申请公布号
DE1040799(B)
申请公布日期
1958.10.09
申请号
DE1957T013361
申请日期
1957.03.15
申请人
TELEFUNKEN G.M.B.H.
发明人
DEHMELT FRIEDRICH WILHELM
分类号
C30B13/28
主分类号
C30B13/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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