形成辐射图案的工具以及形成辐射图案的工具的方法

摘要

一种例如形成辐射图案的工具，可以利用它在基底上形成相当圆的接触点，其中接触点的阵列沿着阵列的行具有与沿着阵列的列不同的节距。交替的相位移动可以在小节距(稠密的)方向上给出很好确定的接触点。在节距较大的方向上添加边缘移动装置，迫使形成圆形的接触点开孔。在另一方面，可以在相邻的边缘之间添加抑制侧瓣的图案。以及一种包括制作形成辐射图案的工具的方法。

主权项

一种形成辐射图案的工具，它包括：基底，其包括石英底座(110)，在石英底座上的第一相位移动层(302)，在第一相位移动层上的第二相位移动层(304)，以及在第二相位移动层上的不透明的材料(112)；特征图案(14)，该特征图案构具有周边(18)和将第一相位旋转赋予穿过该特征图案的光波；该特征图案包括穿过第一相位移动层、第二相位移动层、以及不透明层来刻蚀出图案；并且沿着该特征图案的周边的一部分但是不沿着特征图案的整个周边的边缘(30)；当光波穿过该边缘时，该边缘将第二相位旋转赋予光波；第二相位旋转为相对于第一相位旋转170°到190°；该边缘包括穿过不透明的层和第二相位移动层，并且达到第一相位移动层刻蚀出的图案；其中第一相位移动层与第二相位移动层具有不同的成分，从而第一相位移动层对光波的衰减比第二相位移动层的多。