包括可置换可堆叠盘的固态前驱体传输系统

摘要

本发明描述了用于与高传导率蒸汽传输系统相耦合的多盘固态前驱体蒸发系统(50、150、300、300’)的可置换前驱体盘，其用于通过增大固态前驱体的暴露表面积来增大沉积速率。多盘固态前驱体蒸发系统(50、150、300、300，)被配置为耦合到薄膜沉积系统(1、100)的处理室(10、110)，并且包括基座盘(330)以及一个或多个可堆叠上部盘(340)。每个盘(330、340)被配置为支撑并保持例如固态粉末形式或固态片形式的膜前驱体(350)。另外，每个盘(330、340)被配置为在加热膜前驱体(350)的同时提供膜前驱体(350)上方的载气的高传导率流动。例如，载气在膜前驱体(350)上方向内流动，并且垂直地向上经过可堆叠盘(370、370’)内部的流动通道(318)，并经过固态前驱体蒸发系统(50、150、300、300’)中的出口(322)。

主权项

一种用在膜前驱体蒸发系统中的可置换膜前驱体支撑组件，其中，所述膜前驱体蒸发系统包括具有外容器壁和底部的容器以及被配置为可密封地耦合到所述容器的盖，所述盖包括被配置为可密封地耦合到处理室的出口，所述处理室被配置为在衬底上沉积薄膜，所述组件包括：可置换盘，所述可置换盘支撑膜前驱体，并被配置为在所述膜前驱体蒸发系统中与一个或多个额外可堆叠盘相堆叠，其中所述可置换盘包括：限定在外边缘和内边缘之间的底支撑表面；可堆叠外壁，其从所述外边缘向上延伸并终止于上支撑边缘，所述上支撑边缘用于支撑所述一个或多个额外可堆叠盘；以及内壁，所述内壁短于所述可堆叠外壁，并从所述底支撑表面的所述内边缘向上延伸，所述膜前驱体保持在所述可堆叠外壁和所述内壁之间、所述底支撑表面上，其中，所述内壁限定出所述容器中的中央流动通道，并且所述可堆叠外壁、所述底支撑表面和所述内壁限定出盘空间，并且所述可置换盘包括所述可堆叠外壁中的一个或多个盘开口，所述盘开口被配置为使来自载气供应系统的载气通过所述一个或多个盘开口、从所述可堆叠外壁、在所述膜前驱体上方和所述内壁上方朝向所述中央流动通道流动，并向上通过所述中央流动通道以与膜前驱体蒸汽一同经过所述盖中的所述出口排出。