一种应用于红色磷化镓P型液相外延的石英舟

摘要

一种应用于红色磷化镓P型液相外延的石英舟，由内腔、外腔、连接板、盖板、连接操作杆及固定螺栓组成，内外腔由石英制成，石英内腔套在石英外腔内，内外腔之间留有空隙。其中石英内腔(2)中放置需生长P型层的磷化镓基片，在石英内腔的下面开有通槽，石英外腔(3)腔体内可装生长过程中所需的熔融复合材料。石英内腔(2)可在传动装置的带动下在石英外腔(3)体内上下运动，石英外腔(3)中的熔融体通过石英内腔(2)下面的通槽进入或离开石英内腔(2)中的磷化镓基片，完成P型层的生长过程。本实用新型的结构简单，适用性强，无密封腔室，装配的精度要求低，在操作时即使有一定的熔融残留仍可使用，有效地减少了操作时的化学清洗次数，防止对生长环境污染，提高产品品质。

主权项

一种应用于红色磷化镓P型液相外延的石英舟，由内腔、外腔、连接板，盖板、连接操作杆及固定螺栓组成，其特征是，内、外腔由石英制成，石英内腔套在石英外腔内，内外腔之间留有空隙。