| 发明名称 |
Method of determining the thickness of monocrystalline layers or silicon or germanium |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB944972(A) |
申请公布日期 |
1963.12.18 |
| 申请号 |
GB19620039248 |
申请日期 |
1962.10.17 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F1/00;G01B21/08;G01N33/00;H01L21/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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