发明名称 一种减少单晶棒内应力的方法和装置
摘要 本发明涉及一种减少单晶棒内应力的方法和装置。该方法包括将温度为200~300℃的单晶棒从炉室中取出后,立即装入一种保温装置,该单晶棒置于该保温装置中自然冷却至室温。该装置包括一个圆筒体及一手车,所述的圆筒体内表面具一保温层。依靠本发明装置的保温效果,通过热时效就可以很好的去除单晶棒的残余内应力,从而减少切片时碎片造成的损失。
申请公布号 CN101713100A 申请公布日期 2010.05.26
申请号 CN200910111786.3 申请日期 2009.05.11
申请人 南安市三晶阳光电力有限公司 发明人 郑智雄;南毅;张伟娜;汪健;林霞;胡满根
分类号 C30B33/02(2006.01)I 主分类号 C30B33/02(2006.01)I
代理机构 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人 张松亭
主权项 一种减少单晶棒内应力的方法,其特征在于:将温度为200~300℃的单晶棒从炉室中取出后,立即装入一种保温装置,该单晶棒置于该保温装置中自然冷却至室温。
地址 362000 福建省南安市霞美镇光电信息产业基地