发明名称 | 一种减少单晶棒内应力的方法和装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种减少单晶棒内应力的方法和装置。该方法包括将温度为200~300℃的单晶棒从炉室中取出后,立即装入一种保温装置,该单晶棒置于该保温装置中自然冷却至室温。该装置包括一个圆筒体及一手车,所述的圆筒体内表面具一保温层。依靠本发明装置的保温效果,通过热时效就可以很好的去除单晶棒的残余内应力,从而减少切片时碎片造成的损失。 | ||
申请公布号 | CN101713100A | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
申请号 | CN200910111786.3 | 申请日期 | 2009.05.11 |
申请人 | 南安市三晶阳光电力有限公司 | 发明人 | 郑智雄;南毅;张伟娜;汪健;林霞;胡满根 |
分类号 | C30B33/02(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/02(2006.01)I |
代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人 | 张松亭 |
主权项 | 一种减少单晶棒内应力的方法,其特征在于:将温度为200~300℃的单晶棒从炉室中取出后,立即装入一种保温装置,该单晶棒置于该保温装置中自然冷却至室温。 | ||
地址 | 362000 福建省南安市霞美镇光电信息产业基地 |